Определение состава и свойств веществ

ВУП-7 вакуумный универсальный пост

          Предназначен: для исследовательских работ по распылению металлов, полупроводников и диэлектриков с помощью: DC и RF магнетронов, термического и электронно-лучевого испарителей.

 

Технические характеристики

Параметры

ВУП-7 вакуумный универсальный пост

Предельное остаточное давление в рабочем объеме, Па 2×10-4
Диаметр мишени магнетрона, мм 52
Блок питания DC 1000
Температура нагрева подложки, °C 350
Скорость вращения подложки, rpm 5 — 15
Система напуска и стабилизации давления газа одноканальная (пьезонатекатель)
Масса прибора, кг, не более 380
Электрическое питание, В 380 / 220
Потребляемая мощность, кВА 4,5

 телефон/факс (8635) 22-76-49, телефон (8635) 26-98-90


Copyright (c) "Spektr". All rights reserved.

Besucherzahler russian girl
счетчик посещений