Предназначен: предназначен для получения пленок из различных материалов с высокой производительностью методом магнетронного распыления, а также для подготовки объектов, исследуемых с помощью электронного микроскопа или других аналитических приборов.
Прибор может быть применен для исследований в области физики, химии, биологии, медицины и других областях нayки и техники.
Технические характеристики
Параметры
ВУП-5М вакуумный универсальный пост
Предельное остаточное давление в рабочем объеме, Па
2×10-4
Диаметр мишени магнетрона, мм
40
Блок питания DC магнетрона
1100
Температура нагрева подложки, °C
350
Скорость вращения подложки, rpm
5 — 15
Система напуска и стабилизации давления газа
одноканальная (пьезонатекатель)
Масса прибора, кг, не более
380
Электрическое питание, В
380 / 220
Потребляемая мощность, кВА
4,5
Телефоны отдела продаж: +7 (8635) 22-76-49, +7 (499) 638-20-16
