Предназначен: для исследовательских работ по распылению металлов, полупроводников и диэлектриков с помощью: DC и RF магнетронов, термического и электронно-лучевого испарителей.
Технические характеристики
Параметры
ВУП-7 вакуумный универсальный пост
Предельное остаточное давление в рабочем объеме, Па
2×10-4
Диаметр мишени магнетрона, мм
52
Блок питания DC
1000
Температура нагрева подложки, °C
350
Скорость вращения подложки, rpm
5 — 15
Система напуска и стабилизации давления газа
одноканальная (пьезонатекатель)
Масса прибора, кг, не более
380
Электрическое питание, В
380 / 220
Потребляемая мощность, кВА
4,5
Телефоны отдела продаж: +7 (8635) 22-76-49, +7 (499) 638-20-16
